所謂“單室，多片玻璃襯底制造技術(shù)”就是指在一個真空室內(nèi)，完成P、I、N三層非晶硅的沉積方法。作為工業(yè)生產(chǎn)的設(shè)備，重點考慮生產(chǎn)效率問題，因此，工業(yè)生產(chǎn)用的“單室，多片玻璃襯底制造技術(shù)”的非晶硅沉積
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